微型直线导轨受腐蚀后，在油污和滑槽被腐蚀的微坑中都发现有s，被“乙醇+超声波”短暂清洗后的滑槽微坑中，残留的s含量几乎是油污中的2倍，一种可能的解释就是：导轨油抗磨剂s容易吸附空气中水分子后水解，成酸性。又因比重高于油，会沉积在滑槽底部，束缚于粗糙的微坑表面，加剧表面腐蚀。切削液中水分蒸发也是空气中水分子的重要来源。S在微坑中最常见的是以硫酸钾、硫酸钙等硫酸盐的形式存在。
滑块粘附的少量金属屑可从轨道表面刮削产生，大量的金属屑来源于金属加工过程中产生的断屑污染。金属断屑粘有切削液，当切削液与导轨油混合，会形成油水混合物，即油泥。另一方面，切削液中碱等防锈成分容易被油吸附，剩下的水分因为比油重，沉人滑槽底部，并且更易束缚于损伤的表面，加速导轨表面腐蚀。
腐蚀首先在受损伤的微坑内产生，随后向坑底、坑壁扩展，锈蚀面积不断扩大。锈蚀液蔓延，与油脂混合，污染油脂，被锈蚀液蔓延到的区域防锈能力因此减弱。
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